Verdampingsvacuümcoatingmachine en introductie van het fysieke principe:- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Verdamping vacuüm coating machine en fysieke principe introductie:

De verdampingsvacuümcoatingmachine bestaat voornamelijk uit een vacuümkamer en een vacuümpompsysteem. De vacuümkamer bevat een verdampingsbron (dwz een verdampingsverwarmer), een substraat en een substraathouder, een substraatverwarmer, een voeding, een verdampingsschuitje en een elektrodestaaf. Het vacuümsysteem omvat ruw pompen, tussentijds pompen, fijn pompen, enz., inclusief mechanische pomp, Roots-pomp, diffusiepomp of moleculaire pomp.

Het coatingmateriaal wordt in de verdampingsbron in de vacuümkamer geplaatst. Onder hoogvacuümomstandigheden wordt de verdampingsbron verwarmd om deze te verdampen. Wanneer het gemiddelde vrije pad van de dampmoleculen groter is dan de lineaire afmeting van de vacuümkamer, zullen de atomen en moleculen van de filmdamp uit de verdampingsbron verdampen. Nadat het bronoppervlak is ontsnapt, wordt het zelden gebotst en gehinderd door andere moleculen of atomen, en kan het direct het oppervlak van het te plateren substraat bereiken. Door de lage temperatuur van het substraat condenseren de dampdeeltjes van het filmmateriaal erop om een film te vormen.

Om de hechting tussen de verdampte moleculen en het substraat te verbeteren, kan het substraat worden geactiveerd door geschikte verwarming of ionenreiniging. Het fysieke proces van vacuümverdampingscoating van materiaalverdamping, transport tot afzetting en filmvorming is als volgt:

(1) Gebruik verschillende methoden om andere vormen van energie om te zetten in warmte-energie, verwarm het filmmateriaal om te verdampen of subliem te worden en gasvormige deeltjes (atomen, moleculen of atoomgroepen) te worden met een bepaalde energie (0,1~0,3eV):

(2) De gasvormige deeltjes verlaten het oppervlak van het membraanmateriaal en worden in een rechte lijn met een aanzienlijke bewegingssnelheid zonder botsing naar het oppervlak van het substraat getransporteerd;

(3) De gasvormige deeltjes die het oppervlak van het substraat bereiken, condenseren en kiemen en groeien uit tot een vaste film;

(4) De atomen die de dunne film vormen, zijn herschikt of chemisch gebonden.

De dagelijkse vacuümcoatingmachine maakt gebruik van verdampingstechnologie om aluminium, magnesiumfluoride, goud, zilver, enz. Te coaten, omdat ze het voordeel hebben van een laag smeltpunt, wat handig is voor snelle verdamping en sublimatie.33