De magnetron sputteren vacuüm coating machine bestaat uit vele componenten, die elk hun eigen unieke gebruik hebben en onmisbaar zijn. De magnetron sputter-vacuümcoatingmachine bestaat uit een vacuümsysteem, een traditioneel systeem, een verwarmingssysteem, een koelsysteem, een procesluchtdistributiesysteem en een magnetronsputtersysteem.

Vacuümsysteem: de apparatuur van het vacuümsysteem is geconcentreerd in het gebied van de vacuümkamer, bestaande uit pompapparatuur (mechanische pomp, Roots-pomp, moleculaire pomp), testapparatuur (weerstandsmeter, ionisatiemeter, membraanmeter), veiligheidsklep (cavity gate valve, moleculaire pomp) klepklep, draaischuifpomp Roots pomp zelfaanzuigende klep, pijpleidingklep en luchtbrekende klep); door de roterende schottenpomp > Roots pomp > moleculaire pomp relais pompen, wordt de druk in de kamer veranderd van de atmosfeer naar vacuüm, en in Handhaaf een vacuümomgeving die geschikt is voor productie tijdens het productieproces.

Het werkingsprincipe van draaischuifvacuümpomp, draaischuifpomp bestaat uit stator, rotor, draaischuif, vast deksel, veer en andere onderdelen. De structuur is om de excentrische rotor te gebruiken die in de spijkerholte is geïnstalleerd (de buitenste cirkel van de rotor raakt het binnenoppervlak van de stator en de opening tussen de twee is erg klein) en de twee rotors die in de rotorsleuf schuiven en hechten aan de binnenwand van de stator door middel van veerspanning en middelpuntvliedende kracht. Wanneer de rotor draait, schuift deze altijd langs de binnenwand van de stator.

In de thermokoppel-vacuümmeter wordt een stroom van constante intensiteit als een hete draad door de Pt-draad geleid. Na het bereiken van thermisch evenwicht is het door de stroom geleverde verwarmingsvermogen gelijk aan het vermogen dat verloren gaat door ruimtewarmtestraling, metaalwarmtegeleiding en gasmoleculaire warmtegeleiding. Daarom zal de temperatuur van de hete draad regelmatig veranderen met de mate van vacuüm.

Pirani-meter wordt thermische weerstandsvacuümmeter genoemd, het werkingsprincipe is vergelijkbaar met dat van thermokoppel-vacuümmeter. Een hoogvacuümmeter, vaak gebruikt in combinatie met een thermokoppelmeter, wordt een ionisatiemeter genoemd en is het meest gebruikte meetinstrument in het hoogvacuümbereik.

Vacuümfilmtype vacuümmeter is een soort vacuümmeter die vertrouwt op metaalfilm om mechanische verplaatsing te genereren onder invloed van gasdrukverschil, dus het kan worden gebruikt voor absolute gasdrukmeting, en het meetresultaat heeft niets te maken met gastype .

De membraanvacuümmeter heeft twee geïsoleerde vacuümkamers. Wanneer de druk in de ene vacuümkamer bekend is en de druk in de andere vacuümkamer onbekend, zal de verplaatsing van het membraan evenredig zijn met het drukverschil tussen de twee kamers. Proportioneel, om de nauwkeurigheid van de meting te verbeteren, wordt de filmverplaatsing bereikt door de verandering in de capaciteit tussen de film en een andere metalen elektrode te meten.

In een breed bereik heeft de dunnefilmvacuümmeter een goede lineariteit en de detectielimiet is ongeveer 10-3pa, wat overeenkomt met de detectie van de dunne filmverplaatsing op slechts één atomaire schaal.

Het transmissiesysteem van de magnetron sputterende vacuümcoatingmachine: het traditionele systeem heeft in totaal 24 aandrijfmotoren, 4 voor elk laad- en losplatform, 11 voor het procesgebied en 5 voor het retourgedeelte. Naast de transmissie zijn de rest van de elektroden eenrichtingstransmissie;

DC Magnetron Sputterende Coating Machine

Volledige machinebehuizing met hoogwaardig roestvrij staal304, dubbellaags koelwaterontwerp;

Verschillende sets nieuw ontwikkelde ionenboogbronnen zijn redelijk uitgerust om de stabiliteit en uniformiteit van het sputteren van boogbronnen effectief te waarborgen.

Het meerkanaals luchtinlaatsysteem wordt gebruikt om de gasstroom nauwkeurig te regelen om te voldoen aan uw vereisten voor een verscheidenheid aan samengestelde films.

Gecombineerd met pulse bias-technologie wordt de energie van de elektrische deeltjes aanzienlijk verbeterd, om een ​​uitstekende filmhechting en afwerking te verkrijgen.

De apparatuur wordt voornamelijk gebruikt in: hardwareproducten, glasambachten, keramische ambachten, zoals badkamerproducten, horloges en klokken, messen, mallen, kristalglas, golfgereedschap, lampen, brilmonturen, keramische tegels, vloertegels, enz.

Procesmaterialen: roestvrij staal, koper, ijzer, zinklegering, aluminium, ABS, glas, keramiek, enz.

De oppervlaktetoestand van de procesmaterialen: helder oppervlak van gewoon galvaniseren, dom oppervlak (semi-dom, volledig dom), proces-galvaniseringsrimpels, borstel, regendruppels, enz.

De plating kleuren zijn: doorschijnend, goud, zilver, rose goud, zwart, donker zwart, groen, blauw, paars, regenboog, etc.3